Přejít k obsahu

Publikační činnost

Přehled publikační činnosti je uveden ve výročních zprávách na úřední desce FAV.

Níže je k dispozici on-line výpis z databáze publikační činnosti v jednotlivých letech (Pozn. vzhledem k většímu počtu publikačních výsledků může trvat zobrazení výpisu déle).



Ground state atomic oxygen in high-power impulse magnetron sputtering: a quantitative study

Citace:
BRITUN, N., BELOSLUDTSEV, A., SILVA, T., SNYDERS, R. Ground state atomic oxygen in high-power impulse magnetron sputtering: a quantitative study. JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2017, roč. 50, č. 7, s. "075204-1"-"075204-13". ISSN: 0022-3727
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Ground state atomic oxygen in high-power impulse magnetron sputtering: a quantitative study
Rok vydání: 2017
Autoři: Nikolay Britun , Alexandr Belosludtsev , Tiago Silva , Rony Snyders
Abstrakt CZ: Hustota atomů kyslíku v základním stavu přítomných ve výboji při reaktivním vysokovýkonovém pulzním magnetronovém naprašování byla studována kvantitativně. Bylo provedeno měření s časovým a prostorovým rozlišením. Měření byla provedena s využitím fluorescence indukované dvoufotonovou absorpcí laserového záření (TALIF) a byla kalibrována pomocí optické emisní aktinometrie s emisními čarami Ar. Výsledky objasňují dynamiku atomů kyslíku v základním stavu po vypnutí výboje, včetně jejich šíření a rychlého rozpadu po vypnutí pulsu, stejně jako vliv tlaku plynu, množství O2 ve směsi, atd.
Abstrakt EN: The ground state density of oxygen atoms in reactive high-power impulse magnetron sputtering discharges has been studied quantitatively. Both time-resolved and space-resolved measurements were conducted. The measurements were performed using two-photon absorption laser-induced fluorescence (TALIF), and calibrated by optical emission actinometry with multiple Ar emission lines. The results clarify the dynamics of the O ground state atoms in the discharge afterglow significantly, including their propagation and fast decay after the plasma pulse, as well as the influence of gas pressure, O2 admixture, etc.
Klíčová slova

Zpět

Patička